Ultrazvukový systém rozprašovania fotorezistu
Systém rozprašovania ultrazvukového fotorezistu je kompletným riešením poťahovania polovodiča rovnomerným filmom fotorezistu.
V porovnaní s tradičným odstreďovacím povlakom má ultrazvukový rozprašovací fotorezistný povlak výhody v nanášaní rovnomernejšieho povlaku, najmä v drážkach s vysokým pomerom strán a štruktúre drážok v tvare V, odstredivý odstredivý povlak nemôže nanášať rovnomerný povlak pozdĺž bočnej steny a vytvárať film, a tam nie je príliš veľa fotorezistu uloženého na dne dutiny. Bolo dokázané, že priame striekanie pomocou ultrazvukovej technológie je spoľahlivou a účinnou metódou na nanášanie fotorezistu na 3D mikroštruktúru, čím sa redukuje zlyhanie zariadenia spôsobené nadmerným vystavením kovu odolávaniu povlaku.
Zloženie zariadenia:
Celý stroj sa skladá z ultrazvukovej rozprašovacej trysky, špeciálneho napájacieho zdroja, trojosového spojovacieho servopohonu, inteligentného operačného systému, systému prívodu kvapaliny, zariadenia na tvarovanie vzduchu pri nízkej rýchlosti, škrupiny a skrinky atď.
Výhody:
Vysoké rovnomerné pokrytie filmu pre rôzne povrchové profily.
Drážka s vysokým pomerom strán môže byť pokrytá vysokou rovnomernosťou.
Nezanášajúci sprej.
Tenké jednotlivé mikrónové vrstvy je možné nanášať s vysokou rovnomernosťou.
Osvedčený opakovateľný proces striekania.
Vysoká rovnomernosť: ultrazvukové striekanie je vysoko výkonná priemyselná technológia presného striekania, ktorá sa používa na dosiahnutie vysokej rovnomernosti submikrónového a nano filmového povlaku.
Úspora materiálu a ochrana životného prostredia: pretože nízkotlakový postrek nie je ľahké ovládať a kvapalina namiesto odrazu od podkladu klesá na podklad, môže tak zabezpečiť výrazné zníženie množstva nadmerného nástreku a veľkého množstva materiálu. možno ušetriť a znížiť emisie životného prostredia. Miera využitia povlaku pri ultrazvukovom striekaní je viac ako štvornásobná oproti tradičnému rozprašovaniu dvoma tekutinami.
Prihláška:
Pre oblátky MEMS a iné substráty s rôznou morfológiou.
Ultrazvukové striekacie zariadenie sa používa hlavne v palivových článkoch, tenkovrstvových fotovoltaických článkoch, tenkovrstvových solárnych povlakoch, perovskitových solárnych článkoch, solárnych článkoch, grafénovom povlaku, kremíkových fotovoltaických článkoch, sklenenom povlaku, elektronických obvodoch a iných priemyselných odvetviach. Postrekovaciu hlavu je možné nanášať na rôzne roztoky, rozprašovať je možné aj odpadové vody, chemické kvapaliny a olejové hlieny.
Populárne Tagy: plne automatická ultrazvuková rozprašovacia tryska, Čína, dodávatelia, výrobcovia, továreň
